電渦流位移傳感器利用感應(yīng)渦流原理，可以在一定范圍內(nèi)有效地測(cè)量位移或距離的變化。當(dāng)金屬被測(cè)物體靠近探頭時(shí)，根據(jù)位移或距離不同，電渦流位移傳感器輸出不同的電壓，從而對(duì)照算出位移的變化量。
電渦流位移傳感器主要由探頭、前置器、連接電纜三部分構(gòu)成。探頭內(nèi)置線圈，使用與接近開(kāi)關(guān)類似。前置器通常使用盒式密封設(shè)計(jì)，前置器電路主要包括振蕩電路、電壓檢測(cè)電路、放大器三部分，電壓型電渦流位移傳感器的前置器一般引出5個(gè)接線端子，即電源正+12VDC（或+24 V DC）、電源負(fù)、輸出正OUT+、輸出負(fù)OUT-、接地GND。連接電纜兩端分別接探頭和前置器。
電渦流位移傳感器的工作機(jī)理如下：前置器內(nèi)部的振蕩電路產(chǎn)生高頻振蕩電流，該高頻振蕩電流經(jīng)連接電纜進(jìn)入探頭內(nèi)置線圈，探頭由此產(chǎn)生高頻變化的磁場(chǎng)。當(dāng)金屬被測(cè)物體靠近探頭的較近位置時(shí)，金屬被測(cè)物體產(chǎn)生渦流。渦流再生渦流磁場(chǎng)，磁力線方向與探頭線圈相反，由此改變了探頭的阻抗，引起振蕩電路的振蕩電壓幅值發(fā)生變化。變化后的振蕩電壓經(jīng)電壓檢測(cè)電路并濾波放大后，形成輸出電壓。由此可見(jiàn)，位移變化引起輸出電壓變化就是電渦流位移傳感器的工作機(jī)理。
電渦流效應(yīng)和多項(xiàng)參數(shù)有關(guān)，如金屬被測(cè)物體的電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率、探頭線圈直徑、探頭與金屬被測(cè)物體的距離、振蕩頻率等。在電渦流位移傳感器中，探頭直徑對(duì)量程、分辨率有著重要影響。表1以嘉可JK型電渦流位移傳感器的參數(shù)為例，列舉了不同探頭直徑的量程、分辨率、線性誤差。由表1數(shù)據(jù)可見(jiàn)，探頭直徑越大，量程越大，但分辨率越低，線性誤差越大。
